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■ 2018年 出願公開件数ランキング 第415位 83件
(2017年:第450位 88件)
■ 2018年 特許取得件数ランキング 第450位 58件
(2017年:第453位 58件)
(ランキング更新日:2025年9月1日)筆頭出願人である出願のみカウントしています
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
---|---|---|---|
特許 6293435 | マルチ荷電粒子ビーム描画装置及びマルチ荷電粒子ビーム描画方法 | 2018年 3月14日 | |
特許 6294758 | 荷電粒子ビーム描画装置及び荷電粒子ビームのドーズ量異常検出方法 | 2018年 3月14日 | |
特許 6295035 | 荷電粒子ビーム描画装置及び荷電粒子ビーム描画方法 | 2018年 3月14日 | |
特許 6285660 | 荷電粒子ビーム描画方法、および荷電粒子ビーム描画装置 | 2018年 2月28日 | |
特許 6283180 | 荷電粒子ビーム描画装置及び荷電粒子ビーム描画方法 | 2018年 2月21日 | |
特許 6279396 | 気相成長方法及び気相成長装置 | 2018年 2月14日 | |
特許 6279783 | カソード及びカソードの製造方法 | 2018年 2月14日 | |
特許 6272743 | 基板処理装置 | 2018年 1月31日 | |
特許 6268042 | 検査方法 | 2018年 1月24日 | |
特許 6262007 | セトリング時間の取得方法 | 2018年 1月17日 | |
特許 6262024 | マルチ荷電粒子ビーム描画装置 | 2018年 1月17日 | |
特許 6263358 | 検査方法および検査装置 | 2018年 1月17日 | |
特許 6259642 | 計測装置 | 2018年 1月10日 | |
特許 6259694 | 荷電粒子ビーム描画装置及び荷電粒子ビームの照射量変調係数の取得方法 | 2018年 1月10日 |
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6293435 6294758 6295035 6285660 6283180 6279396 6279783 6272743 6268042 6262007 6262024 6263358 6259642 6259694
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