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株式会社ニューフレアテクノロジー

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株式会社ニューフレアテクノロジーの商標一覧

公報番号	発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)	公報発行日
特許 6350023	荷電粒子ビーム描画装置及び方法	2018年 7月 4日
特許 6350204	描画データ検証方法、プログラム、及びマルチ荷電粒子ビーム描画装置	2018年 7月 4日
特許 6353229	マルチ荷電粒子ビーム描画装置及びマルチ荷電粒子ビーム描画方法	2018年 7月 4日
特許 6353278	マルチ荷電粒子ビーム描画方法及びマルチ荷電粒子ビーム描画装置	2018年 7月 4日
特許 6345431	照明装置及びパターン検査装置	2018年 6月20日
特許 6343705	パターン評価方法およびパターン評価装置	2018年 6月13日
特許 6339807	露光用マスクの製造方法、露光用マスクの製造システム、及び半導体装置の製造方法	2018年 6月 6日
特許 6318358	照明装置および検査装置	2018年 5月 9日
特許 6320831	サセプタ処理方法及びサセプタ処理用プレート	2018年 5月 9日
特許 6322011	荷電粒子ビームのドリフト補正方法及び荷電粒子ビーム描画装置	2018年 5月 9日
特許 6316052	荷電粒子ビーム描画装置及び荷電粒子ビーム描画方法	2018年 4月25日
特許 6310263	検査装置	2018年 4月11日
特許 6307367	マスク検査装置、マスク評価方法及びマスク評価システム	2018年 4月 4日
特許 6293023	検査方法	2018年 3月14日
特許 6293024	試料高さ検出装置およびパターン検査システム	2018年 3月14日

59 件中 31-45 件を表示

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6350023 6350204 6353229 6353278 6345431 6343705 6339807 6318358 6320831 6322011 6316052 6310263 6307367 6293023 6293024

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