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株式会社ＳＵＭＣＯ

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　■　2018年特許取得件数ランキング　　　第310位　93件（2017年：第394位　68件）

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株式会社ＳＵＭＣＯの商標一覧

公報番号	発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)	公報発行日
特許 6327094	気相成長装置の汚染管理方法、エピタキシャルシリコンウェーハの製造方法	2018年 5月23日
特許 6327329	シリコンウェーハの研磨方法およびシリコンウェーハの製造方法	2018年 5月23日
特許 6327393	エピタキシャルシリコンウェーハの不純物ゲッタリング能力の評価方法及びエピタキシャルシリコンウェーハ	2018年 5月23日
特許 6323515	半導体ウェーハのラッピング方法および半導体ウェーハ	2018年 5月16日
特許 6318728	半導体エピタキシャルウェーハの製造方法、半導体エピタキシャルウェーハ、および固体撮像素子の製造方法	2018年 5月 9日
特許 6318938	単結晶の製造方法及び製造装置	2018年 5月 9日
特許 6319040	単結晶の製造方法及び製造装置	2018年 5月 9日
特許 6314386	ウェーハ運搬台車及びウェーハ運搬方法	2018年 4月25日
特許 6311446	シリコンウェーハの製造方法	2018年 4月18日
特許 6311542	結晶欠陥の評価方法及びウェーハの製造方法	2018年 4月18日
特許 6303321	貼り合わせウェーハの製造方法および貼り合わせウェーハ	2018年 4月 4日
特許 6304349	ウェーハのエッジ研磨装置及び方法	2018年 4月 4日
特許 6304424	熱遮蔽部材、単結晶引き上げ装置および単結晶シリコンインゴットの製造方法	2018年 4月 4日
特許 6299835	エピタキシャルシリコンウェーハおよびエピタキシャルシリコンウェーハの製造方法	2018年 3月28日
特許 6301441	シリコン単結晶引き上げ用のシリカガラスルツボの製造方法およびシリコン単結晶の製造方法	2018年 3月28日

94 件中 61-75 件を表示

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6327094 6327329 6327393 6323515 6318728 6318938 6319040 6314386 6311446 6311542 6303321 6304349 6304424 6299835 6301441

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