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株式会社ＳＵＭＣＯ

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　■　2018年特許取得件数ランキング　　　第310位　93件（2017年：第394位　68件）

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株式会社ＳＵＭＣＯの商標一覧

公報番号	発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)	公報発行日
特許 6373950	シリコン単結晶の製造方法及びこれに用いるシリカガラスルツボの検査方法及び検査システム	2018年 8月15日
特許 6369263	ワークの研磨装置およびワークの製造方法	2018年 8月 8日
特許 6369297	半導体ウェーハの支持方法及びその支持装置	2018年 8月 8日
特許 6365218	単結晶の製造方法及び製造装置	2018年 8月 1日
特許 6361482	気相成長装置の汚染管理方法、エピタキシャルシリコンウェーハの製造方法	2018年 7月25日
特許 6361720	シリコン単結晶ウェーハの評価方法及び評価装置並びに製造方法	2018年 7月25日
特許 6361779	エピタキシャルシリコンウェーハの製造方法、エピタキシャルシリコンウェーハ、および固体撮像素子の製造方法	2018年 7月25日
特許 6350637	半導体ウェーハの評価基準の設定方法、半導体ウェーハの評価方法、半導体ウェーハ製造工程の評価方法、および半導体ウェーハの製造方法	2018年 7月 4日
特許 6344168	ボロンドープｐ型シリコンウェーハの金属汚染評価方法および評価装置、ならびにボロンドープｐ型シリコンウェーハの製造方法	2018年 6月20日
特許 6341083	エピタキシャルシリコンウェーハの製造方法	2018年 6月13日
特許 6341229	結晶欠陥の評価方法、シリコンウェーハの製造方法及び結晶欠陥の評価装置	2018年 6月13日
特許 6336867	ルツボ測定装置	2018年 6月 6日
特許 6330941	エピタキシャル成長装置およびプリヒートリングならびにそれらを用いたエピタキシャルウェーハの製造方法	2018年 5月30日
特許 6332422	シリコンウェーハの製造方法	2018年 5月30日
特許 6327007	研削装置および研削方法	2018年 5月23日

94 件中 46-60 件を表示

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6373950 6369263 6369297 6365218 6361482 6361720 6361779 6350637 6344168 6341083 6341229 6336867 6330941 6332422 6327007

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