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株式会社ＳＵＭＣＯ

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株式会社ＳＵＭＣＯの商標一覧

公報番号	発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)	公報発行日
特許 6493105	エピタキシャルシリコンウェーハ	2019年 4月 3日
特許 6493136	ウェーハ検査方法およびウェーハ検査装置	2019年 4月 3日
特許 6493179	ウェーハの評価方法、シリコンウェーハの製造方法、シリコン単結晶インゴット	2019年 4月 3日
特許 6493197	シリコンゲルマニウムエピタキシャルウェーハの製造方法およびシリコンゲルマニウムエピタキシャルウェーハ	2019年 4月 3日
特許 6493243	ウェーハの製造方法	2019年 4月 3日
特許 6493253	シリコンウェーハの製造方法およびシリコンウェーハ	2019年 4月 3日
特許 6493498	半導体ウェーハの載置位置測定方法および半導体エピタキシャルウェーハの製造方法	2019年 4月 3日
特許 6488607	単結晶ＳｉＣウェーハの製造方法	2019年 3月27日
特許 6488975	シリコン単結晶の引上げ方法	2019年 3月27日
特許 6488993	シリコン単結晶の酸素濃度の評価方法およびシリコン単結晶	2019年 3月27日
特許 6489004	クリーニング装置、クリーニング方法およびシリコン単結晶の製造方法	2019年 3月27日
特許 6489198	エピタキシャルウェーハの汚染評価方法および該方法を用いたエピタキシャルウェーハの製造方法	2019年 3月27日
特許 6489209	単結晶シリコンの製造方法および単結晶シリコン	2019年 3月27日
特許 6489232	ＩＩＩ族窒化物半導体基板の製造方法及びＩＩＩ族窒化物半導体基板	2019年 3月27日
特許 6491812	メンブレン、研磨ヘッド、ワークの研磨装置及び研磨方法、並びに、シリコンウェーハ	2019年 3月27日

146 件中 91-105 件を表示

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6493105 6493136 6493179 6493197 6493243 6493253 6493498 6488607 6488975 6488993 6489004 6489198 6489209 6489232 6491812

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