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アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド

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  2018年 出願公開件数ランキング    第172位 256件 上昇2017年:第207位 254件)

  2018年 特許取得件数ランキング    第188位 158件 上昇2017年:第227位 136件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 6297597 調整可能な電極を有する堆積源 2018年 3月20日
特許 6297607 半導体プロセスチャンバ内で使用するためのスパッタ源 2018年 3月20日
特許 6298059 差異的な酸化ケイ素エッチング 2018年 3月20日
特許 6298060 ウェハ処理機器の化学制御機構 2018年 3月20日
特許 6298232 基板冷却を備えた搬送ロボット 2018年 3月20日
特許 6292819 選択的スペクトルモニタリングを使用した終点決定 2018年 3月14日
特許 6293064 セラミックコーティングを有する熱処理されたセラミック基板及びコートされたセラミックスへの熱処理 2018年 3月14日
特許 6290275 高度なRF及び温度の均一性を備えた静電チャック 2018年 3月 7日
特許 6290997 新規の熱処理装置 2018年 3月 7日
特許 6285446 割り送り式インライン基板処理ツール 2018年 2月28日
特許 6285926 ブーム駆動装置、マルチアームロボット装置、電子デバイス処理システム、および電子デバイス製造システムにおいて基板を搬送するための方法 2018年 2月28日
特許 6286463 高温測定のための加熱源反射フィルタを含む装置 2018年 2月28日
特許 6281958 カスタマイズ可能な流れの注入を伴うエピタキシャルチャンバ 2018年 2月21日
特許 6282437 研磨パッドコンディショナ用ダンパ 2018年 2月21日
特許 6283332 蒸着ユニット及び真空コーティング装置 2018年 2月21日

158 件中 121-135 件を表示

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6297597 6297607 6298059 6298060 6298232 6292819 6293064 6290275 6290997 6285446 6285926 6286463 6281958 6282437 6283332

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