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■ 2022年 出願公開件数ランキング 第56位 541件
(2021年:第132位 313件)
■ 2022年 特許取得件数ランキング 第112位 303件
(2021年:第117位 241件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
---|---|---|---|
特許 7094336 | フィールドガイドによる埋設式露光、及び露光後ベークプロセス | 2022年 7月 1日 | |
特許 7094367 | ルテニウムの選択的原子層堆積 | 2022年 7月 1日 | |
特許 7093192 | 原子層堆積による多孔質体の耐プラズマ性コーティング | 2022年 6月29日 | |
特許 7091394 | ホール効果が促進された容量結合プラズマ源、軽減システム、および真空処理システム | 2022年 6月27日 | |
特許 7090035 | 連続化学気相堆積(CVD)マルチゾーン処理キット | 2022年 6月23日 | |
特許 7090115 | 独立した分離されたヒータ区域を有するウエハキャリア | 2022年 6月23日 | |
特許 7090118 | 空間的原子層堆積法による、自己整合ダブルパターニング | 2022年 6月23日 | |
特許 7090174 | 金属酸化物の低温ALDのための方法 | 2022年 6月23日 | |
特許 7089632 | 移動するプロセスキットの浸食測定及び位置較正のための方法及び装置 | 2022年 6月22日 | |
特許 7088910 | 色計測学を用いた基板の厚さ測定 | 2022年 6月21日 | |
特許 7089010 | 露光後ベークのための装置 | 2022年 6月21日 | |
特許 7089043 | 空間プラズマ原子層堆積(PE-ALD)処理ツール用のマイクロ波プラズマ源 | 2022年 6月21日 | |
特許 7087031 | 表面ブロッキング化学作用を用いた薄膜誘電体の選択的堆積 | 2022年 6月20日 | |
特許 7087200 | ナノポアフローセル及び製造方法 | 2022年 6月20日 | |
特許 7086101 | 付加製造装置のためのエネルギー源のアレーを有するエネルギー送達システム | 2022年 6月17日 |
303 件中 166-180 件を表示
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7094336 7094367 7093192 7091394 7090035 7090115 7090118 7090174 7089632 7088910 7089010 7089043 7087031 7087200 7086101
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