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カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー

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  2016年 出願公開件数ランキング    第366位 102件 上昇2015年:第425位 82件)

  2016年 特許取得件数ランキング    第337位 92件 上昇2015年:第402位 64件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 5848470 寄生負荷最小化光学素子モジュール 2016年 1月27日
特許 5849137 マイクロリソグラフィ用投影露光装置および方法 2016年 1月27日
特許 5846471 偏光影響光学装置及びマイクロリソグラフィ投影露光装置の光学系 2016年 1月20日
特許 5841999 リソグラフィマスクを使用して生成された放射分布の局所解像測定用装置および方法 2016年 1月13日
特許 5842302 マイクロリソグラフィのための投影光学系 2016年 1月13日

95 件中 91-95 件を表示

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5848470 5849137 5846471 5841999 5842302

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