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■ 2016年 出願公開件数ランキング 第366位 102件
(2015年:第425位 82件)
■ 2016年 特許取得件数ランキング 第337位 92件
(2015年:第402位 64件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
---|---|---|---|
特許 5979793 | 投影リソグラフィのための照明光学系 | 2016年 8月31日 | |
特許 5982429 | 絞りを有する投影対物系 | 2016年 8月31日 | |
特許 5979693 | EUV投影リソグラフィのための照明光学ユニット及び光学系 | 2016年 8月24日 | |
特許 5959021 | 投影対物器械を製造する方法及びこの方法によって製造される投影対物器械 | 2016年 8月 2日 | |
特許 5960752 | 変形可能な光学素子を有する光学装置 | 2016年 8月 2日 | |
特許 5960806 | ファセットミラーデバイス | 2016年 8月 2日 | |
特許 5957606 | セグメント化ミラーを有するリソグラフィー装置 | 2016年 7月27日 | |
特許 5955375 | 光学デバイス | 2016年 7月20日 | |
特許 5950129 | マイクロリソグラフィ露光装置の投影対物系 | 2016年 7月13日 | |
特許 5946190 | 結像光学系及びこの種の結像光学系を有するマイクロリソグラフィのための投影露光装置 | 2016年 7月 5日 | |
特許 5941463 | EUV露光装置 | 2016年 6月29日 | |
特許 5938043 | 結像光学系 | 2016年 6月22日 | |
特許 5934082 | リソグラフィ投影対物器械を修正/修理する方法 | 2016年 6月15日 | |
特許 5934698 | EUVリソグラフィ用ミラーの基板およびその製造方法 | 2016年 6月15日 | |
特許 5930350 | マイクロリソグラフィ投影露光装置の光学系を調節する方法 | 2016年 6月 8日 |
95 件中 31-45 件を表示
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5979793 5982429 5979693 5959021 5960752 5960806 5957606 5955375 5950129 5946190 5941463 5938043 5934082 5934698 5930350
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