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カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー

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カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハーの商標一覧

公報番号	発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)	公報発行日
特許 5902884	結像光学系及びこの種の結像光学系を含むマイクロリソグラフィ用の投影露光装置	2016年 4月13日
特許 5898079	マイクロリソグラフィ投影露光装置で使用するミラー	2016年 4月 6日
特許 5898210	マイクロリソグラフィのための投影露光ツール及びマイクロリソグラフィ結像の方法	2016年 4月 6日
特許 5898853	マイクロリソグラフィ投影露光装置および投影レンズのための測定装置	2016年 4月 6日
特許 5896313	結像光学系及びこの種の結像光学系を備えたマイクロリソグラフィ用の投影露光装置	2016年 3月30日
特許 5897540	結像誤差の決定を行う光学結像装置	2016年 3月30日
特許 5892499	マイクロリソグラフィ投影露光装置のための光学系及びマイクロリソグラフィ露光方法	2016年 3月23日
特許 5888622	マイクロリソグラフィ用の照明光学系	2016年 3月22日
特許 5886952	個々に能動的に支持されたコンポーネントを有する光学結像装置	2016年 3月16日
特許 5883465	浸液蒸発作用の低い光学結像	2016年 3月15日
特許 5883778	入射瞳のバック・フォーカスが負である投影対物系および投影露光装置	2016年 3月15日
特許 5885098	マイクロリソグラフィ用の掩蔽瞳を有する投影対物系	2016年 3月15日
特許 5882286	光学システム及び露光装置	2016年 3月 9日
特許 5878169	光学システム	2016年 3月 8日
特許 5876516	マイクロリソグラフィのための投影対物系、投影露光装置、投影露光方法、及び光学補正プレート	2016年 3月 2日

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5902884 5898079 5898210 5898853 5896313 5897540 5892499 5888622 5886952 5883465 5883778 5885098 5882286 5878169 5876516

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