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カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー

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カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハーの商標一覧

公報番号	発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)	公報発行日
特許 6016316	長時間スケールからの系補正	2016年10月26日
特許 6012628	マイクロリソグラフィのための投影露光ツールを作動させる方法	2016年10月25日
特許 6012702	リソグラフィ装置	2016年10月25日
特許 6008468	調整可能な光学素子を有する光学モジュール	2016年10月19日
特許 6008938	ファセットミラーデバイス	2016年10月19日
特許 6010032	ＥＵＶ投影露光系のためのミラー、光学系、及び構成要素を生成する方法	2016年10月19日
特許 6000291	ミラーの表面形態を補正する方法	2016年 9月28日
特許 5995229	マイクロリソグラフィ用の掩蔽瞳を有する投影対物系	2016年 9月21日
特許 5996635	マルチスポット収集光学系	2016年 9月21日
特許 5996892	遮光瞳を有する高開口率対物光学系	2016年 9月21日
特許 5991600	光学システム、特にマイクロリソグラフィ投影露光装置の照明システム又は投影対物器械	2016年 9月14日
特許 5992066	マイクロリソグラフィ投影露光装置および投影レンズのための測定装置	2016年 9月14日
特許 5993894	光学結像装置	2016年 9月14日
特許 5989011	ＥＵＶ投影露光装置のための反射光学構成要素を製造する方法及びこのタイプの構成要素	2016年 9月 7日
特許 5986131	光学素子の温度制御装置	2016年 9月 6日

95 件中 16-30 件を表示

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6016316 6012628 6012702 6008468 6008938 6010032 6000291 5995229 5996635 5996892 5991600 5992066 5993894 5989011 5986131

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