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カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー

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カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハーの商標一覧

公報番号	発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)	公報発行日
特許 5932902	光学モジュールへの力作用を調節可能な光学装置	2016年 6月 8日
特許 5928653	マイクロリソグラフィ投影露光装置の光学系	2016年 6月 1日
特許 5928735	ＥＵＶマスク欠陥の分析及び／又は修復の方法及び装置	2016年 6月 1日
特許 5926190	ＥＵＶリソグラフィ用反射マスク	2016年 5月25日
特許 5926264	ミラー、当該ミラーを備える投影対物レンズ、及び当該投影対物レンズを備えるマイクロリソグラフィ用投影露光装置	2016年 5月25日
特許 5923559	投影露光方法、投影露光システム、及び投影対物系	2016年 5月24日
特許 5917526	光学素子を位置合わせするシステム及びその方法	2016年 5月18日
特許 5918815	投影光学系	2016年 5月18日
特許 5918858	マイクロリソグラフィ投影露光装置の光変調器及び照明系	2016年 5月18日
特許 5913471	傾斜偏向ミラーを有する反射屈折投影対物器械、投影露光装置、投影露光方法、及びミラー	2016年 4月27日
特許 5913863	ＵＶ又はＥＵＶリソグラフィ用の光学素子	2016年 4月27日
特許 5908028	マイクロリソグラフィのための照明系	2016年 4月26日
特許 5908940	光学結像装置	2016年 4月26日
特許 5902694	マイクロリソグラフィ投影露光装置のミラーのミラー温度測定及び／又は熱作動用の構成体	2016年 4月13日
特許 5902779	リソグラフィ装置用制御デバイス及びリソグラフィ装置の制御方法	2016年 4月13日

95 件中 46-60 件を表示

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5932902 5928653 5928735 5926190 5926264 5923559 5917526 5918815 5918858 5913471 5913863 5908028 5908940 5902694 5902779

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