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カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー
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■ 2017年 出願公開件数ランキング 第501位 77件
（
2016年：第366位 102件）
■ 2017年 特許取得件数ランキング 第394位 68件
（2016年：第337位 92件）
（ランキング更新日：2025年5月23日）筆頭出願人である出願のみカウントしています
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カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハーの商標一覧| 公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
|---|---|---|---|
| 特許 6098950 | 照明光学ユニット | 2017年 3月22日 | |
| 特許 6101220 | マイクロリソグラフィ投影露光装置の素子を作動させる機構 | 2017年 3月22日 | |
| 特許 6089375 | ＥＵＶマイクロリソグラフィのための照明光学ユニット | 2017年 3月 8日 | |
| 特許 6091434 | 光学マウント及びＥＵＶ露光装置 | 2017年 3月 8日 | |
| 特許 6093753 | ＥＵＶミラー機構、ＥＵＶミラー機構を備えた光学系、及びＥＵＶミラー機構を備えた光学系を操作する方法 | 2017年 3月 8日 | |
| 特許 6086503 | 感光層のパターン付き露光のための露光装置及び方法 | 2017年 3月 1日 | |
| 特許 6069247 | 光学モジュール | 2017年 2月 1日 | |
| 特許 6061953 | 光学素子を測定するための測定システムを備えた投影露光装置 | 2017年 1月18日 | |
| 特許 6063637 | 複数の投影対物レンズを備えた投影露光装置 | 2017年 1月18日 |
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6098950 6101220 6089375 6091434 6093753 6086503 6069247 6061953 6063637
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