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カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー

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カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハーの商標一覧

公報番号	発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)	公報発行日
特許 6140290	マイクロリソグラフィー投影露光装置用光学システム及びマイクロリソグラフィー露光方法	2017年 5月31日
特許 6132319	結像光学系	2017年 5月24日
特許 6124881	測定システム	2017年 5月10日
特許 6126627	ミラー配置、特にマイクロリソグラフィ投影露光装置で使用するミラー配置	2017年 5月10日
特許 6127001	ＥＵＶリソグラフィ用の光学機構及び該光学機構を構成する方法	2017年 5月10日
特許 6121401	投影露光装置の素子を作動させる機構	2017年 4月26日
特許 6121524	複数の計測支持ユニットを有する光学結像装置	2017年 4月26日
特許 6121581	マイクロリソグラフィのための投影露光装置に使用するファセットミラー	2017年 4月26日
特許 6114952	リソグラフィによって感光性表面にパターンを転写する方法およびマイクロリソグラフィ投影露光装置の照明システム	2017年 4月19日
特許 6116788	複数の投影対物レンズを備えた投影露光装置	2017年 4月19日
特許 6112478	マイクロリソグラフィのための投影対物系	2017年 4月12日
特許 6107829	光透過性導電性コーティング及び基板上へのそれらの堆積の方法	2017年 4月 5日
特許 6109929	リソグラフィ装置、およびミラー配列を製造する方法	2017年 4月 5日
特許 6103507	結像光学系	2017年 3月29日
特許 6105731	回折光学素子及び測定方法	2017年 3月29日

69 件中 46-60 件を表示

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6140290 6132319 6124881 6126627 6127001 6121401 6121524 6121581 6114952 6116788 6112478 6107829 6109929 6103507 6105731

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