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カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー

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カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハーの商標一覧

公報番号	発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)	公報発行日
特許 6168614	マイクロリソグラフィのためのマスク及び走査投影露光方法	2017年 7月26日
特許 6170564	マイクロリソグラフィ投影露光装置の照明システム	2017年 7月26日
特許 6164558	高電力レーザ光源からターゲット上への放射線のフォーカス誘導のためのビーム誘導系及びレーザ光源とそのようなビーム誘導系とを有するＬＰＰ　Ｘ線ビーム源	2017年 7月19日
特許 6166257	ＥＵＶリソグラフィ用の反射光学素子及び光学系	2017年 7月19日
特許 6162684	マイクロリソグラフィ投影露光装置内の要素を作動させるための設備	2017年 7月12日
特許 6159013	光ビームの偏光状態を空間的に分離するための偏光子アセンブリ	2017年 7月 5日
特許 6159334	安定した組成を有する酸窒化物キャッピング層を備えたＥＵＶミラー、ＥＵＶリソグラフィ装置、及び作動方法	2017年 7月 5日
特許 6154808	振動遮断支持ユニットを有する光学結像装置	2017年 6月28日
特許 6151364	ミラー素子の配向を決定する監視系およびＥＵＶリソグラフィシステム	2017年 6月21日
特許 6146745	入射光ビームを変換するための光学配置、光ビームをラインフォーカスに変換する方法、及びそのための光学デバイス	2017年 6月14日
特許 6146918	結像光学系及びこの種の結像光学系を含むマイクロリソグラフィ用の投影露光装置	2017年 6月14日
特許 6147924	マイクロリソグラフィ投影装置を作動させる方法	2017年 6月14日
特許 6137179	マイクロリソグラフィ投影露光装置の光学系及びマイクロリソグラフィ露光方法	2017年 5月31日
特許 6137762	マイクロリソグラフィ装置を作動させる方法	2017年 5月31日
特許 6140074	マイクロリソグラフィのための結像光学系	2017年 5月31日

69 件中 31-45 件を表示

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6168614 6170564 6164558 6166257 6162684 6159013 6159334 6154808 6151364 6146745 6146918 6147924 6137179 6137762 6140074

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