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カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー

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  2017年 出願公開件数ランキング    第501位 77件 下降2016年:第366位 102件)

  2017年 特許取得件数ランキング    第394位 68件 下降2016年:第337位 92件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 6227639 EUV用途向け光学素子を冷却するための方法および冷却システム 2017年11月 8日
特許 6228985 ミラー素子の傾動を調整するための方法及びコンポーネント 2017年11月 8日
特許 6221159 コレクター 2017年11月 1日
特許 6221160 ミラーの配置 2017年11月 1日
特許 6222594 マイクロリソグラフィ投影露光装置 2017年11月 1日
特許 6214042 EUVリソグラフィ系 2017年10月18日
特許 6207530 光学コンポーネント 2017年10月 4日
特許 6209518 マイクロリソグラフィ投影露光装置のミラーの熱作動用の構成体 2017年10月 4日
特許 6204922 投影露光装置のための照明及び変位デバイス 2017年 9月27日
特許 6200489 磁歪材料を含む光学素子 2017年 9月20日
特許 6193963 マイクロリソグラフィ投影露光装置においてマスクを照明するための照明システム 2017年 9月 6日
特許 6186623 マイクロリソグラフィ投影露光装置 2017年 8月30日
特許 6186352 マイクロリソグラフィ用の投影露光装置の光学素子を動かす方法 2017年 8月23日
特許 6182224 マイクロリソグラフィ投影対物レンズ 2017年 8月16日
特許 6176740 劣化抑制手段を備えた光学アセンブリ 2017年 8月 9日

69 件中 16-30 件を表示

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6227639 6228985 6221159 6221160 6222594 6214042 6207530 6209518 6204922 6200489 6193963 6186623 6186352 6182224 6176740

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