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ケーエルエー−テンカー コーポレイション

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  2017年 出願公開件数ランキング    第422位 98件 上昇2016年:第444位 78件)

  2017年 特許取得件数ランキング    第472位 54件 上昇2016年:第483位 58件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 6182737 ウエハの特性決定のための方法とシステム 2017年 8月23日
特許 6184473 レチクルの劣化を検出するための反射マップおよび透過マップの使用 2017年 8月23日
特許 6184490 複合型x線および光学計測のためのモデル構築ならびに解析エンジン、方法、コンピュータ読み取り可能媒体 2017年 8月23日
特許 6184518 活性プラズマ内原位置測定のための高温センサウェーハ 2017年 8月23日
特許 6186044 デザイナ・インテント・データを使用するウェハとレチクルの検査の方法およびシステム 2017年 8月23日
特許 6180435 ビット不良および仮想検査を用いたウェハ検査プロセスの生成 2017年 8月16日
特許 6181154 極端紫外光又は深紫外光の被曝により劣化した撮像センサを修復するシステム及び方法 2017年 8月16日
特許 6173220 偏光角度が調節可能な複合偏光子 2017年 8月 2日
特許 6173423 自動検査半導体デバイスのレシピ生成のための方法、コンピュータシステムおよび装置 2017年 8月 2日
特許 6173487 パターン化された欠陥の輪郭ベースのアレイ検査 2017年 8月 2日
特許 6171080 明視野差分干渉コントラストを用いた強化検査及び計測技法及びシステム 2017年 7月26日
特許 6165064 集束電子ビーム機器のスループットを向上させるための多極静電偏向器 2017年 7月19日
特許 6165166 スポット走査システムのための改善された高速対数光検出器 2017年 7月19日
特許 6165283 オーバーレイ計測測定システム 2017年 7月19日
特許 6157357 製造された基板上の点在したホットスポット領域を検査する方法および装置 2017年 7月 5日

54 件中 16-30 件を表示

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6182737 6184473 6184490 6184518 6186044 6180435 6181154 6173220 6173423 6173487 6171080 6165064 6165166 6165283 6157357

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