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ケーエルエー−テンカー　コーポレイション

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ケーエルエー−テンカー　コーポレイションの商標一覧

公報番号	発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)	公報発行日
特許 6182737	ウエハの特性決定のための方法とシステム	2017年 8月23日
特許 6184473	レチクルの劣化を検出するための反射マップおよび透過マップの使用	2017年 8月23日
特許 6184490	複合型ｘ線および光学計測のためのモデル構築ならびに解析エンジン、方法、コンピュータ読み取り可能媒体	2017年 8月23日
特許 6184518	活性プラズマ内原位置測定のための高温センサウェーハ	2017年 8月23日
特許 6186044	デザイナ・インテント・データを使用するウェハとレチクルの検査の方法およびシステム	2017年 8月23日
特許 6180435	ビット不良および仮想検査を用いたウェハ検査プロセスの生成	2017年 8月16日
特許 6181154	極端紫外光又は深紫外光の被曝により劣化した撮像センサを修復するシステム及び方法	2017年 8月16日
特許 6173220	偏光角度が調節可能な複合偏光子	2017年 8月 2日
特許 6173423	自動検査半導体デバイスのレシピ生成のための方法、コンピュータシステムおよび装置	2017年 8月 2日
特許 6173487	パターン化された欠陥の輪郭ベースのアレイ検査	2017年 8月 2日
特許 6171080	明視野差分干渉コントラストを用いた強化検査及び計測技法及びシステム	2017年 7月26日
特許 6165064	集束電子ビーム機器のスループットを向上させるための多極静電偏向器	2017年 7月19日
特許 6165166	スポット走査システムのための改善された高速対数光検出器	2017年 7月19日
特許 6165283	オーバーレイ計測測定システム	2017年 7月19日
特許 6157357	製造された基板上の点在したホットスポット領域を検査する方法および装置	2017年 7月 5日

54 件中 16-30 件を表示

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6182737 6184473 6184490 6184518 6186044 6180435 6181154 6173220 6173423 6173487 6171080 6165064 6165166 6165283 6157357

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