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ケーエルエー−テンカー コーポレイション

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  2024年 出願公開件数ランキング    第311位 105件 上昇2023年:第332位 104件)

  2024年 特許取得件数ランキング    第286位 108件 上昇2023年:第345位 92件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 7542561 位置ずれの測定およびその改善のための関心領域の選択 2024年 8月30日
特許 7539467 計測ランドスケープに基づく計測最適化のためのシステムおよび方法 2024年 8月23日
特許 7538881 液体窒素のための自己整列式真空フィードスルー 2024年 8月22日
特許 7535115 軟X線スキャタロメトリに依拠するオーバレイ計測方法及びシステム 2024年 8月15日
特許 7530920 テスト用フォトマスクを用いるTDIイメージセンサ向けEUVインサイチュー直線性校正 2024年 8月 8日
特許 7531030 オーバレイ計測システム及び方法 2024年 8月 8日
特許 7527400 オーバーレイ計測ツールおよび方法 2024年 8月 2日
特許 7525735 磁気液浸電子銃 2024年 7月30日
特許 7523682 半導体デバイス製造方法及び半導体製造アセンブリ用プロセス制御システム 2024年 7月26日
特許 7520058 マルチステージマルチゾーン基板位置決めシステム 2024年 7月22日
特許 7508659 空間的に変化する偏光回転子および偏光子を用いた高感度粒子検出 2024年 7月 1日
特許 7506756 位置ずれ測定値に対するウェハ傾斜の影響の補正のためのシステムおよび方法 2024年 6月26日
特許 7503140 高圧流れを有するレーザ維持プラズマ光源 2024年 6月19日
特許 7502389 試料の欠陥検出及び光ルミネセンス測定のためのシステム及び方法 2024年 6月18日
特許 7502530 ターゲット 2024年 6月18日

108 件中 46-60 件を表示

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7542561 7539467 7538881 7535115 7530920 7531030 7527400 7525735 7523682 7520058 7508659 7506756 7503140 7502389 7502530

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