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東京エレクトロン株式会社

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  2019年 出願公開件数ランキング    第58位 660件 上昇2018年:第67位 588件)

  2019年 特許取得件数ランキング    第58位 415件 下降2018年:第50位 503件)

(ランキング更新日:2020年2月14日)筆頭出願人である出願のみカウントしています

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 6600990 プラズマ処理装置 2019年11月 6日
特許 6601257 基板処理方法 2019年11月 6日
特許 6602230 石英管保持構造及びこれを用いた熱処理装置 2019年11月 6日
特許 6602261 成膜方法 2019年11月 6日
特許 6603530 プラズマ処理装置、及び、プラズマ処理装置の制御方法 2019年11月 6日
特許 6603586 プラズマ処理方法及びプラズマ処理装置 2019年11月 6日
特許 6597296 基板処理方法 2019年10月30日
特許 6597732 ガス処理装置 2019年10月30日
特許 6597740 成膜方法及び成膜装置 2019年10月30日
特許 6597872 基板処理方法 2019年10月30日
特許 6598635 基板押圧機構および接合装置 2019年10月30日
特許 6600480 被処理体を処理する方法 2019年10月30日
特許 6600568 流量制御器の出力流量を求める方法 2019年10月30日
特許 6600588 基板搬送機構の洗浄方法及び基板処理システム 2019年10月30日
特許 6593004 プラズマ処理装置 2019年10月23日

418 件中 46-60 件を表示

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  2. 6600990 6601257 6602230 6602261 6603530 6603586 6597296 6597732 6597740 6597872 6598635 6600480 6600568 6600588 6593004

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