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■ 2021年 出願公開件数ランキング 第33位 878件
(2020年:第43位 773件)
■ 2021年 特許取得件数ランキング 第45位 515件
(2020年:第54位 436件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
---|---|---|---|
特許 6921799 | 基板処理方法および基板処理システム | 2021年 8月18日 | |
特許 6922048 | 基板処理装置、基板処理方法及び記録媒体 | 2021年 8月18日 | |
特許 6922408 | 基板処理装置 | 2021年 8月18日 | |
特許 6917147 | 基板処理装置、基板処理方法及び記憶媒体 | 2021年 8月11日 | |
特許 6917205 | 磁気抵抗素子の製造方法 | 2021年 8月11日 | |
特許 6917315 | プリコート方法及び成膜方法 | 2021年 8月11日 | |
特許 6917807 | 基板処理方法 | 2021年 8月11日 | |
特許 6917864 | 液供給装置およびリーク検知方法 | 2021年 8月11日 | |
特許 6918461 | 減圧乾燥システム、および減圧乾燥方法 | 2021年 8月11日 | |
特許 6918554 | 可動体構造及び成膜装置 | 2021年 8月11日 | |
特許 6918568 | 基板処理システム、基板処理方法、プログラム、および情報記憶媒体 | 2021年 8月11日 | |
特許 6918642 | 冷媒用の流路を有する部材、冷媒用の流路を有する部材の制御方法及び基板処理装置 | 2021年 8月11日 | |
特許 6918764 | 保護膜形成方法 | 2021年 8月11日 | |
特許 6918986 | 接合装置、および接合方法 | 2021年 8月11日 | |
特許 6918996 | 溶射用材料、溶射皮膜および溶射皮膜付部材 | 2021年 8月11日 |
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6921799 6922048 6922408 6917147 6917205 6917315 6917807 6917864 6918461 6918554 6918568 6918642 6918764 6918986 6918996
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