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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特許 6910164 | 基板処理装置および基板処理方法 | 2021年 7月28日 | |
特許 6910217 | ダイシング装置およびダイシング方法 | 2021年 7月28日 | |
特許 6910311 | 成膜時間の設定方法 | 2021年 7月28日 | |
特許 6910319 | 有機領域をエッチングする方法 | 2021年 7月28日 | |
特許 6910320 | マイクロ波出力装置及びプラズマ処理装置 | 2021年 7月28日 | |
特許 6910480 | 多層配線の形成方法、多層配線形成装置および記憶媒体 | 2021年 7月28日 | |
特許 6910526 | 基板処理装置、基板処理方法及び記憶媒体 | 2021年 7月28日 | |
特許 6910528 | 多層配線の形成方法および記憶媒体 | 2021年 7月28日 | |
特許 6911705 | 成膜装置及び成膜装置の運転方法 | 2021年 7月28日 | |
特許 6905843 | 塗布処理装置 | 2021年 7月21日 | |
特許 6905902 | 処理液供給装置 | 2021年 7月21日 | |
特許 6906331 | 基板処理装置 | 2021年 7月21日 | |
特許 6906359 | 塗布装置、および塗布方法 | 2021年 7月21日 | |
特許 6906377 | 排気プレート及びプラズマ処理装置 | 2021年 7月21日 | |
特許 6906416 | 基板処理装置 | 2021年 7月21日 |
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6910164 6910217 6910311 6910319 6910320 6910480 6910526 6910528 6911705 6905843 6905902 6906331 6906359 6906377 6906416
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