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東京エレクトロン株式会社

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  2021年 特許取得件数ランキング    第45位 515件 上昇2020年:第54位 436件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 6910164 基板処理装置および基板処理方法 2021年 7月28日
特許 6910217 ダイシング装置およびダイシング方法 2021年 7月28日
特許 6910311 成膜時間の設定方法 2021年 7月28日
特許 6910319 有機領域をエッチングする方法 2021年 7月28日
特許 6910320 マイクロ波出力装置及びプラズマ処理装置 2021年 7月28日
特許 6910480 多層配線の形成方法、多層配線形成装置および記憶媒体 2021年 7月28日
特許 6910526 基板処理装置、基板処理方法及び記憶媒体 2021年 7月28日
特許 6910528 多層配線の形成方法および記憶媒体 2021年 7月28日
特許 6911705 成膜装置及び成膜装置の運転方法 2021年 7月28日
特許 6905843 塗布処理装置 2021年 7月21日
特許 6905902 処理液供給装置 2021年 7月21日
特許 6906331 基板処理装置 2021年 7月21日
特許 6906359 塗布装置、および塗布方法 2021年 7月21日
特許 6906377 排気プレート及びプラズマ処理装置 2021年 7月21日
特許 6906416 基板処理装置 2021年 7月21日

520 件中 241-255 件を表示

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6910164 6910217 6910311 6910319 6910320 6910480 6910526 6910528 6911705 6905843 6905902 6906331 6906359 6906377 6906416

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