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東京エレクトロン株式会社

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  2021年 出願公開件数ランキング    第33位 878件 上昇2020年:第43位 773件)

  2021年 特許取得件数ランキング    第45位 515件 上昇2020年:第54位 436件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 6919019 接合装置、および接合方法 2021年 8月11日
特許 6913498 流量制御器の出力流量を求める方法及び被処理体を処理する方法 2021年 8月 4日
特許 6913569 被処理体を処理する方法 2021年 8月 4日
特許 6914050 基板処理装置 2021年 8月 4日
特許 6914062 基板処理装置および基板処理方法 2021年 8月 4日
特許 6914107 ボロン膜の除去方法 2021年 8月 4日
特許 6914111 基板処理方法、基板処理装置、基板処理システムおよび基板処理システムの制御装置 2021年 8月 4日
特許 6914143 基板処理方法、基板処理装置、基板処理システム、基板処理システムの制御装置および半導体基板の製造方法 2021年 8月 4日
特許 6914149 プラズマ処理装置 2021年 8月 4日
特許 6915498 ノズル待機装置、液処理装置及び液処理装置の運転方法並びに記憶媒体 2021年 8月 4日
特許 6908757 接合装置、接合システム、接合方法及びコンピュータ記憶媒体 2021年 7月28日
特許 6909374 光増感化学又は感光性化学増幅レジストを用いた限界寸法制御 2021年 7月28日
特許 6909617 減圧乾燥装置 2021年 7月28日
特許 6909854 塗布処理装置、塗布処理方法及びコンピュータ記憶媒体 2021年 7月28日
特許 6910118 成膜方法および成膜システム、ならびに表面処理方法 2021年 7月28日

520 件中 226-240 件を表示

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6919019 6913498 6913569 6914050 6914062 6914107 6914111 6914143 6914149 6915498 6908757 6909374 6909617 6909854 6910118

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