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東京エレクトロン株式会社
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（
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■ 2021年 特許取得件数ランキング 第45位 515件
（2020年：第54位 436件）
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東京エレクトロン株式会社の商標一覧| 公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
|---|---|---|---|
| 特許 6955928 | 熱処理装置、熱処理方法及び記憶媒体 | 2021年10月27日 | |
| 特許 6955983 | 基板処理装置 | 2021年10月27日 | |
| 特許 6955984 | 基板処理装置、基板処理装置の設置方法及びコンピュータ記憶媒体 | 2021年10月27日 | |
| 特許 6955989 | 検査装置 | 2021年10月27日 | |
| 特許 6956014 | ガスの流量を求める方法 | 2021年10月27日 | |
| 特許 6956024 | 液処理装置及び液膜状態判定方法 | 2021年10月27日 | |
| 特許 6956030 | 検査システム | 2021年10月27日 | |
| 特許 6956106 | ハードマスク及びハードマスクを製造する方法 | 2021年10月27日 | |
| 特許 6951903 | 半導体素子のための拡張領域 | 2021年10月20日 | |
| 特許 6951923 | 基板処理装置、基板処理方法及びコンピュータ記憶媒体 | 2021年10月20日 | |
| 特許 6952542 | プラズマ処理方法およびプラズマ処理装置 | 2021年10月20日 | |
| 特許 6952595 | 縦型熱処理装置 | 2021年10月20日 | |
| 特許 6952620 | シリコン膜またはゲルマニウム膜またはシリコンゲルマニウム膜を成膜する方法および装置 | 2021年10月20日 | |
| 特許 6952633 | 基板加熱装置及びこれを用いた基板処理装置 | 2021年10月20日 | |
| 特許 6947190 | 異物検出装置、異物検出方法及び記憶媒体 | 2021年10月13日 |
520 件中 106-120 件を表示
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6955928 6955983 6955984 6955989 6956014 6956024 6956030 6956106 6951903 6951923 6952542 6952595 6952620 6952633 6947190
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