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東京エレクトロン株式会社

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  2021年 特許取得件数ランキング    第45位 515件 上昇2020年:第54位 436件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 6956924 基板処理装置および基板処理方法 2021年11月 2日
特許 6957310 半導体装置およびCMOSトランジスタ 2021年11月 2日
特許 6957652 基板処理方法、基板処理装置および記憶媒体 2021年11月 2日
特許 6958338 基板処理装置及び基板処理装置の運転方法 2021年11月 2日
特許 6958980 水素プラズマを用いたシリコン抽出方法 2021年11月 2日
特許 6952852 接合装置 2021年10月27日
特許 6952853 接合システム、および接合方法 2021年10月27日
特許 6952860 基板処理装置、および基板処理方法 2021年10月27日
特許 6952866 3次元半導体記憶装置の製造方法 2021年10月27日
特許 6953286 基板処理装置、基板処理方法及び記憶媒体 2021年10月27日
特許 6953999 半導体装置の製造方法及び基板処理装置 2021年10月27日
特許 6954160 液処理装置及び液処理装置のティーチング方法 2021年10月27日
特許 6954459 薬液の異常検出装置、液処理装置、基板処理装置、薬液の異常検出方法、液処理方法及び基板処理方法 2021年10月27日
特許 6955073 熱処理方法及び熱処理装置 2021年10月27日
特許 6955904 基板処理装置 2021年10月27日

520 件中 91-105 件を表示

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6956924 6957310 6957652 6958338 6958980 6952852 6952853 6952860 6952866 6953286 6953999 6954160 6954459 6955073 6955904

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