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東京エレクトロン株式会社
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■ 2021年 出願公開件数ランキング 第33位 878件
（
2020年：第43位 773件）
■ 2021年 特許取得件数ランキング 第45位 515件
（2020年：第54位 436件）
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東京エレクトロン株式会社の商標一覧| 公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
|---|---|---|---|
| 特許 6968201 | 基板処理システム、基板処理方法及びコンピュータ記憶媒体 | 2021年11月17日 | |
| 特許 6963900 | 成膜方法 | 2021年11月10日 | |
| 特許 6964005 | 熱処理装置、熱板の冷却方法及びコンピュータ読み取り可能な記録媒体 | 2021年11月10日 | |
| 特許 6964176 | 基板処理装置、基板処理方法、及び記憶媒体 | 2021年11月10日 | |
| 特許 6964473 | ガス供給装置及び成膜装置 | 2021年11月10日 | |
| 特許 6964475 | 基板保持具及び基板処理装置 | 2021年11月10日 | |
| 特許 6964515 | サセプターのクリーニング方法 | 2021年11月10日 | |
| 特許 6964737 | 熱処理装置及び温度制御方法 | 2021年11月10日 | |
| 特許 6965205 | エッチング装置、及びエッチング方法 | 2021年11月10日 | |
| 特許 6965378 | 基板搬送装置および基板搬送装置の異常検出方法 | 2021年11月10日 | |
| 特許 6966286 | プラズマ処理装置、フォーカスリングの昇降制御方法およびフォーカスリングの昇降制御プログラム | 2021年11月10日 | |
| 特許 6960278 | 流量測定システムを検査する方法 | 2021年11月 5日 | |
| 特許 6960351 | 処理方法 | 2021年11月 5日 | |
| 特許 6960390 | 給電構造及びプラズマ処理装置 | 2021年11月 5日 | |
| 特許 6960421 | プラズマ処理装置及びプラズマ処理方法 | 2021年11月 5日 |
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6968201 6963900 6964005 6964176 6964473 6964475 6964515 6964737 6965205 6965378 6966286 6960278 6960351 6960390 6960421
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