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■ 2021年 出願公開件数ランキング 第33位 878件 (2020年:第43位 773件)
■ 2021年 特許取得件数ランキング 第45位 515件 (2020年:第54位 436件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特許 6937370 | 研削装置、研削方法及びコンピュータ記憶媒体 | 2021年 9月22日 | |
特許 6937403 | 基板載置台 | 2021年 9月22日 | |
特許 6937604 | タングステン膜を形成する方法 | 2021年 9月22日 | |
特許 6937644 | プラズマ処理装置及びプラズマ処理方法 | 2021年 9月22日 | |
特許 6937906 | 基板処理装置 | 2021年 9月22日 | |
特許 6938248 | 基板処理装置、基板処理方法及び記憶媒体 | 2021年 9月22日 | |
特許 6938746 | エッチング装置及びエッチング方法 | 2021年 9月22日 | |
特許 6939043 | 処理液供給装置 | 2021年 9月22日 | |
特許 6934540 | 半導体装置の製造方法 | 2021年 9月15日 | |
特許 6934563 | 基板処理システム及び基板処理方法 | 2021年 9月15日 | |
特許 6935667 | 成膜方法 | 2021年 9月15日 | |
特許 6935741 | 成膜装置 | 2021年 9月15日 | |
特許 6932034 | 伝熱シート及び基板処理装置 | 2021年 9月 8日 | |
特許 6932070 | フォーカスリング及び半導体製造装置 | 2021年 9月 8日 | |
特許 6932248 | レーザー加工装置、レーザー加工システム、およびレーザー加工方法 | 2021年 9月 8日 |
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6937370 6937403 6937604 6937644 6937906 6938248 6938746 6939043 6934540 6934563 6935667 6935741 6932034 6932070 6932248
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