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東京エレクトロン株式会社

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  2021年 特許取得件数ランキング    第45位 515件 上昇2020年:第54位 436件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 6960813 グラフェン構造体の形成方法および形成装置 2021年11月 5日
特許 6960839 半導体装置の製造方法 2021年11月 5日
特許 6960873 半導体製造システム及びサーバ装置 2021年11月 5日
特許 6961025 基板処理システム 2021年11月 5日
特許 6961046 接合装置のパラメータ調整方法、接合装置および接合システム 2021年11月 5日
特許 6961058 基板処理装置および基板処理方法 2021年11月 5日
特許 6961362 基板処理装置 2021年11月 5日
特許 6956288 基板処理方法、プラズマ処理装置、及びエッチングガス組成物 2021年11月 2日
特許 6956551 酸化膜除去方法および除去装置、ならびにコンタクト形成方法およびコンタクト形成システム 2021年11月 2日
特許 6956592 シリコン酸化膜を形成する方法および装置 2021年11月 2日
特許 6956603 基板処理装置、基板処理方法および記憶媒体 2021年11月 2日
特許 6956660 クリーニング方法及び成膜装置 2021年11月 2日
特許 6956696 パーティクル発生抑制方法及び真空装置 2021年11月 2日
特許 6956788 基板処理方法及び基板処理システム 2021年11月 2日
特許 6956806 データ処理装置、データ処理方法及びプログラム 2021年11月 2日

520 件中 76-90 件を表示

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6960813 6960839 6960873 6961025 6961046 6961058 6961362 6956288 6956551 6956592 6956603 6956660 6956696 6956788 6956806

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