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東京エレクトロン株式会社

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　■　2023年特許取得件数ランキング　　　第32位　762件（2022年：第38位　690件）

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東京エレクトロン株式会社の商標一覧

公報番号	発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)	公報発行日
特開 2023-178190	プラズマ処理装置、プラズマ処理方法、圧力弁制御装置、圧力弁制御方法及び圧力調整システム	2023年12月14日
特開 2023-177133	検査装置及び検査方法	2023年12月13日
特開 2023-177146	情報処理装置及び選択支援方法	2023年12月13日
特開 2023-177195	検査装置及び載置台	2023年12月13日
特開 2023-175121	基板処理装置	2023年12月12日
特開 2023-174664	液処理装置、液処理方法及びコンピュータ読み取り可能な記録媒体	2023年12月 8日
特開 2023-173097	基板処理装置及び酸素混入抑制方法	2023年12月 7日
特開 2023-173100	シール構造、チャンバ、基板処理装置及びシール材の取り付け方法	2023年12月 7日
特開 2023-173116	監視方法及びプラズマ処理装置	2023年12月 7日
特開 2023-173302	基板処理方法及び基板処理装置	2023年12月 7日
特開 2023-173790	基板処理装置及びリング部材の位置合わせ方法	2023年12月 7日
特開 2023-173836	基板洗浄装置及び基板洗浄方法	2023年12月 7日
特開 2023-173842	検査装置、および検査方法	2023年12月 7日
特開 2023-172116	接合装置および接合方法	2023年12月 6日
特開 2023-172255	プラズマ処理装置及びプラズマ処理方法	2023年12月 6日

725 件中 31-45 件を表示

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2023-178190 2023-177133 2023-177146 2023-177195 2023-175121 2023-174664 2023-173097 2023-173100 2023-173116 2023-173302 2023-173790 2023-173836 2023-173842 2023-172116 2023-172255

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