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東京エレクトロン株式会社

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  2023年 出願公開件数ランキング    第31位 722件 下降2022年:第25位 842件)

  2023年 特許取得件数ランキング    第32位 762件 上昇2022年:第38位 690件)

(ランキング更新日:2024年11月10日)筆頭出願人である出願のみカウントしています

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特開 2023-166015 基板処理システム 2023年11月17日
特開 2023-165539 基板処理装置及び基板処理装置の製造方法 2023年11月16日
特開 2023-165156 気流形成装置 2023年11月15日
特開 2023-165214 基板支持アセンブリ、基板支持体、基板処理装置、及び基板処理方法 2023年11月15日
特開 2023-165222 静電チャック、基板支持アセンブリ、及びプラズマ処理装置 2023年11月15日
特開 2023-163625 プラズマ処理装置及びプラズマ処理方法 2023年11月10日
特開 2023-163641 基板処理方法、コンピュータ記憶媒体及び基板処理装置 2023年11月10日
特開 2023-164442 載置台 2023年11月10日
特開 2023-164633 基板処理装置および基板処理方法 2023年11月10日
特開 2023-162983 基板処理方法及び基板処理装置 2023年11月 9日
特開 2023-161689 プラズマ処理装置、プラズマ処理方法、およびリモートプラズマ源 2023年11月 8日
特開 2023-161719 加熱処理装置、加熱処理方法及びコンピュータ記憶媒体 2023年11月 8日
特開 2023-161767 温度調整用流量制御ユニットおよび半導体製造装置 2023年11月 8日
特開 2023-161935 基板処理装置 2023年11月 8日
特開 2023-161239 基板処理装置 2023年11月 7日

725 件中 76-90 件を表示

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2023-166015 2023-165539 2023-165156 2023-165214 2023-165222 2023-163625 2023-163641 2023-164442 2023-164633 2023-162983 2023-161689 2023-161719 2023-161767 2023-161935 2023-161239

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