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東京エレクトロン株式会社

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　■　2023年特許取得件数ランキング　　　第32位　762件（2022年：第38位　690件）

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東京エレクトロン株式会社の商標一覧

公報番号	発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)	公報発行日
特開 2023-166015	基板処理システム	2023年11月17日
特開 2023-165539	基板処理装置及び基板処理装置の製造方法	2023年11月16日
特開 2023-165156	気流形成装置	2023年11月15日
特開 2023-165214	基板支持アセンブリ、基板支持体、基板処理装置、及び基板処理方法	2023年11月15日
特開 2023-165222	静電チャック、基板支持アセンブリ、及びプラズマ処理装置	2023年11月15日
特開 2023-163625	プラズマ処理装置及びプラズマ処理方法	2023年11月10日
特開 2023-163641	基板処理方法、コンピュータ記憶媒体及び基板処理装置	2023年11月10日
特開 2023-164442	載置台	2023年11月10日
特開 2023-164633	基板処理装置および基板処理方法	2023年11月10日
特開 2023-162983	基板処理方法及び基板処理装置	2023年11月 9日
特開 2023-161689	プラズマ処理装置、プラズマ処理方法、およびリモートプラズマ源	2023年11月 8日
特開 2023-161719	加熱処理装置、加熱処理方法及びコンピュータ記憶媒体	2023年11月 8日
特開 2023-161767	温度調整用流量制御ユニットおよび半導体製造装置	2023年11月 8日
特開 2023-161935	基板処理装置	2023年11月 8日
特開 2023-161239	基板処理装置	2023年11月 7日

725 件中 76-90 件を表示

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2023-166015 2023-165539 2023-165156 2023-165214 2023-165222 2023-163625 2023-163641 2023-164442 2023-164633 2023-162983 2023-161689 2023-161719 2023-161767 2023-161935 2023-161239

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