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■ 2023年 出願公開件数ランキング 第31位 722件 (2022年:第25位 842件)
■ 2023年 特許取得件数ランキング 第32位 762件 (2022年:第38位 690件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特開 2023-166015 | 基板処理システム | 2023年11月17日 | |
特開 2023-165539 | 基板処理装置及び基板処理装置の製造方法 | 2023年11月16日 | |
特開 2023-165156 | 気流形成装置 | 2023年11月15日 | |
特開 2023-165214 | 基板支持アセンブリ、基板支持体、基板処理装置、及び基板処理方法 | 2023年11月15日 | |
特開 2023-165222 | 静電チャック、基板支持アセンブリ、及びプラズマ処理装置 | 2023年11月15日 | |
特開 2023-163625 | プラズマ処理装置及びプラズマ処理方法 | 2023年11月10日 | |
特開 2023-163641 | 基板処理方法、コンピュータ記憶媒体及び基板処理装置 | 2023年11月10日 | |
特開 2023-164442 | 載置台 | 2023年11月10日 | |
特開 2023-164633 | 基板処理装置および基板処理方法 | 2023年11月10日 | |
特開 2023-162983 | 基板処理方法及び基板処理装置 | 2023年11月 9日 | |
特開 2023-161689 | プラズマ処理装置、プラズマ処理方法、およびリモートプラズマ源 | 2023年11月 8日 | |
特開 2023-161719 | 加熱処理装置、加熱処理方法及びコンピュータ記憶媒体 | 2023年11月 8日 | |
特開 2023-161767 | 温度調整用流量制御ユニットおよび半導体製造装置 | 2023年11月 8日 | |
特開 2023-161935 | 基板処理装置 | 2023年11月 8日 | |
特開 2023-161239 | 基板処理装置 | 2023年11月 7日 |
725 件中 76-90 件を表示
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2023-166015 2023-165539 2023-165156 2023-165214 2023-165222 2023-163625 2023-163641 2023-164442 2023-164633 2023-162983 2023-161689 2023-161719 2023-161767 2023-161935 2023-161239
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