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東京エレクトロン株式会社

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  2023年 出願公開件数ランキング    第31位 722件 下降2022年:第25位 842件)

  2023年 特許取得件数ランキング    第32位 762件 上昇2022年:第38位 690件)

(ランキング更新日:2025年2月25日)筆頭出願人である出願のみカウントしています

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特開 2023-5881 成膜装置、および成膜装置のクリーニング方法 2023年 1月18日
特開 2023-5996 基板処理装置及び基板処理方法 2023年 1月18日
特開 2023-6114 プラズマ処理チャンバ、プラズマ処理装置及び締結部材 2023年 1月18日
特開 2023-6205 プラズマ処理装置及びライナアセンブリ 2023年 1月18日
特開 2023-6217 プラズマ処理装置 2023年 1月18日
特開 2023-6219 基板処理装置および基板処理方法 2023年 1月18日
特開 2023-6646 基板処理システム及び基板処理方法 2023年 1月18日
特開 2023-6660 基板処理装置及び基板処理方法 2023年 1月18日
特開 2023-6977 プラズマ処理装置及びプラズマ処理方法 2023年 1月18日
特開 2023-7137 成膜方法及び成膜装置 2023年 1月18日
特開 2023-7180 成膜装置及び成膜方法 2023年 1月18日
特開 2023-7226 基板処理装置 2023年 1月18日
特開 2023-7231 半導体デバイスの製造方法 2023年 1月18日
特開 2023-7312 基板処理装置、及び基板処理方法 2023年 1月18日
特開 2023-3476 処理方法及び処理システム 2023年 1月17日

725 件中 676-690 件を表示

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2023-5881 2023-5996 2023-6114 2023-6205 2023-6217 2023-6219 2023-6646 2023-6660 2023-6977 2023-7137 2023-7180 2023-7226 2023-7231 2023-7312 2023-3476

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