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東京エレクトロン株式会社

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  2024年 特許取得件数ランキング    第25位 802件 上昇2023年:第32位 762件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 7556064 周縁除去装置及び周縁除去方法 2024年 9月25日
特許 7556099 プラズマ処理装置 2024年 9月25日
特許 7556106 静電チャックの形成方法及びプラズマ処理装置 2024年 9月25日
特許 7554538 陥凹特徴部におけるボトムアップ金属化の方法 2024年 9月20日
特許 7554539 狭小トレンチを形成する方法 2024年 9月20日
特許 7554663 基板搬送装置、基板処理システム及び基板処理方法 2024年 9月20日
特許 7553191 基板搬送システムの制御方法及び基板搬送システム 2024年 9月18日
特許 7553192 原料供給装置及び原料供給方法 2024年 9月18日
特許 7553193 載置台及び基板処理装置 2024年 9月18日
特許 7553208 基板処理装置及びその制御方法 2024年 9月18日
特許 7553736 基板処理システム 2024年 9月18日
特許 7551887 プラズマ処理装置、プロセッサ、制御方法、非一時的コンピュータ可読記録媒体及び電源システム 2024年 9月17日
特許 7550534 エッチング方法およびエッチング装置 2024年 9月13日
特許 7550585 バッチ形成機構および基板処理装置 2024年 9月13日
特許 7550589 基板処理システム 2024年 9月13日

809 件中 226-240 件を表示

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7556064 7556099 7556106 7554538 7554539 7554663 7553191 7553192 7553193 7553208 7553736 7551887 7550534 7550585 7550589

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