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東京エレクトロン株式会社

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  2024年 特許取得件数ランキング    第25位 802件 上昇2023年:第32位 762件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 7560215 プラズマ処理装置 2024年10月 2日
特許 7560506 金属含有レジストからのエッジビード領域における金属残留物を低減する方法 2024年10月 2日
特許 7559145 基板処理システム及び基板処理方法 2024年10月 1日
特許 7557961 検査装置、接合システムおよび検査方法 2024年 9月30日
特許 7557969 エッチング方法、基板処理装置、及び基板処理システム 2024年 9月30日
特許 7558020 基板処理システム、および基板搬送方法 2024年 9月30日
特許 7558038 検査装置における接触解除方法及び検査装置 2024年 9月30日
特許 7558303 基板処理装置および基板処理方法 2024年 9月30日
特許 7558397 容器 2024年 9月30日
特許 7557332 基板洗浄装置、基板洗浄方法及びコンピュータ読み取り可能な記録媒体 2024年 9月27日
特許 7557360 処理液供給装置および処理液供給方法 2024年 9月27日
特許 7557429 プラズマ処理装置 2024年 9月27日
特許 7556230 基板処理方法、基板処理装置及び基板処理システム 2024年 9月26日
特許 7556642 情報処理装置、情報処理システム及び部品発注方法 2024年 9月26日
特許 7556968 基板処理方法、及び基板処理装置 2024年 9月26日

809 件中 211-225 件を表示

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7560215 7560506 7559145 7557961 7557969 7558020 7558038 7558303 7558397 7557332 7557360 7557429 7556230 7556642 7556968

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