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東京エレクトロン株式会社

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  2024年 特許取得件数ランキング    第25位 802件 上昇2023年:第32位 762件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 7546384 成膜方法及び成膜装置 2024年 9月 6日
特許 7546403 接合装置および接合方法 2024年 9月 6日
特許 7546418 基板処理方法および基板処理装置 2024年 9月 6日
特許 7546427 搬送方法及び処理システム 2024年 9月 6日
特許 7546456 エッジリングおよび基板処理装置 2024年 9月 6日
特許 7546461 液処理方法及び液処理装置 2024年 9月 6日
特許 7546477 基板処理装置および基板処理方法 2024年 9月 6日
特許 7546749 基板処理方法および基板処理装置 2024年 9月 6日
特許 7546754 基板処理装置、基板処理システム及び基板処理方法 2024年 9月 6日
特許 7545185 高度に選択的な酸化ケイ素/窒化ケイ素エッチングのためのエッチング成分及び不動態化ガス成分の独立した制御 2024年 9月 4日
特許 7543616 プラズマ選択的堆積によるライン粗さ改善の方法 2024年 9月 3日
特許 7544446 接合装置、及び接合方法 2024年 9月 3日
特許 7544448 プラズマ処理方法及びプラズマ処理装置 2024年 9月 3日
特許 7544450 プラズマ処理装置 2024年 9月 3日
特許 7542374 回転機構および基板処理装置 2024年 8月30日

809 件中 256-270 件を表示

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7546384 7546403 7546418 7546427 7546456 7546461 7546477 7546749 7546754 7545185 7543616 7544446 7544448 7544450 7542374

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