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ラム　リサーチ　コーポレーション

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ラム　リサーチ　コーポレーションの商標一覧

公報番号	発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)	公報発行日
特表 2024-509747	高アスペクト比プラズマエッチングのための金属系ライナー保護	2024年 3月 5日
特表 2024-509819	半導体処理チャンバ構成要素のためのポリマコーティング	2024年 3月 5日
特開 2024-26267	改善されたチャンバ整合のためのハイブリッド流量計測	2024年 2月28日
特開 2024-26298	ＲＦ供給のためのファラデーケージを埋め込まれたセラミック製静電チャックと、操作、監視、及び制御のための関連の方法	2024年 2月28日
特開 2024-26299	エッジリングリフトを用いた動的シース制御	2024年 2月28日
特開 2024-23604	熱エッチングおよび原子層エッチングにおけるエッチング特性の予測	2024年 2月21日
特開 2024-23646	統合バッファを備えたウエハ搬送アセンブリ	2024年 2月21日
特表 2024-507722	均一性を実現するためのデューティサイクル制御	2024年 2月21日
特表 2024-507782	機械的強度または寿命に影響を与えることのないプラズマ均一性のためのＣシュラウド改良	2024年 2月21日
特表 2024-507190	ハロゲンおよび脂肪族含有有機スズフォトレジストおよびその方法	2024年 2月16日
特開 2024-20431	複数のステーションシステムにおいてプラズマを平準化するために使用されるモジュール式レシピ制御較正（ＭＲＣＣ）装置	2024年 2月14日
特開 2024-20572	ヒータアレイにおける故障の特定および補償	2024年 2月14日
特表 2024-506456	原子層エッチングにおけるエッチング選択性の制御	2024年 2月14日
特表 2024-506289	ＴＣＰ窓用のハイブリッド液体／空気冷却システム	2024年 2月13日
特表 2024-506160	量子効率の良いフォトレジストおよびその方法	2024年 2月 9日

197 件中 166-180 件を表示

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2024-509747 2024-509819 2024-26267 2024-26298 2024-26299 2024-23604 2024-23646 2024-507722 2024-507782 2024-507190 2024-20431 2024-20572 2024-506456 2024-506289 2024-506160

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