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ラム　リサーチ　コーポレーション

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ラム　リサーチ　コーポレーションの商標一覧

公報番号	発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)	公報発行日
特表 2024-518235	半導体ツールの構成	2024年 5月 1日
特表 2024-518268	複合現実環境における半導体製造機器の制御	2024年 5月 1日
特表 2024-518276	選択的堆積および抵抗率低減による完全整合ビアの集積化	2024年 5月 1日
特表 2024-518544	角度コンプライアンスメカニズムを有するブレード型エンドエフェクタ	2024年 5月 1日
特開 2024-56883	最適化された低エネルギ／高生産性の蒸着システム	2024年 4月23日
特開 2024-56884	半導体基板処理におけるペデスタルへの蒸着の防止	2024年 4月23日
特開 2024-56956	プラズマチャンバ内で使用するためのリング構造およびシステム	2024年 4月23日
特開 2024-56071	静電チャック内の電極のパラメータを設定および調節するためのインピーダンスを有するチューニング回路を備えたＲＦチューニングシステム	2024年 4月19日
特表 2024-517288	高選択性ドープハードマスク膜	2024年 4月19日
特開 2024-54388	構成可能な分散インターロック－システム	2024年 4月16日
特表 2024-516149	基板への裏面堆積防止	2024年 4月12日
特開 2024-50710	プラズマチャンバ内温度のリアルタイム制御	2024年 4月10日
特開 2024-50812	誘電体における高アスペクト比フィーチャのプラズマエッチング化学物質	2024年 4月10日
特開 2024-45257	ＥＵＶパターン化可能ハードマスクを形成するための方法	2024年 4月 2日
特表 2024-514454	金属含有フォトレジストからの金属汚染の制御	2024年 4月 2日

197 件中 136-150 件を表示

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2024-518235 2024-518268 2024-518276 2024-518544 2024-56883 2024-56884 2024-56956 2024-56071 2024-517288 2024-54388 2024-516149 2024-50710 2024-50812 2024-45257 2024-514454

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