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ラム リサーチ コーポレーション

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  2024年 出願公開件数ランキング    第178位 197件 下降2023年:第146位 259件)

  2024年 特許取得件数ランキング    第216位 154件 上昇2023年:第292位 112件)

(ランキング更新日:2025年1月10日)筆頭出願人である出願のみカウントしています

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特開 2024-81722 プラズマ処理ツールにおける画像に基づくプラズマシースプロファイル検出 2024年 6月18日
特表 2024-521260 3D-NAND用の高アスペクト比エッチングのための化学物質 2024年 5月30日
特開 2024-73512 誘電体における高アスペクト比フィーチャのプラズマエッチング化学物質 2024年 5月29日
特開 2024-73513 誘電体における高アスペクト比フィーチャのプラズマエッチング化学物質 2024年 5月29日
特開 2024-73514 誘電体における高アスペクト比フィーチャのプラズマエッチング化学物質 2024年 5月29日
特開 2024-73515 誘電体における高アスペクト比フィーチャのプラズマエッチング化学物質 2024年 5月29日
特表 2024-521078 エッチング制御のための開口を備える可動ディスク 2024年 5月28日
特表 2024-521079 複数セクションのプラズマ閉じ込めリング構造 2024年 5月28日
特開 2024-69333 セラミックベースプレートを備えるマルチプレート静電チャック 2024年 5月21日
特開 2024-69443 基板処理システムにおける基板支持体の動的温度制御 2024年 5月21日
特開 2024-69652 高アスペクト比の誘電体エッチングを達成するための3つ以上の状態 2024年 5月21日
特表 2024-519460 ウエハセンタリング機能を備えた回転インデクサ 2024年 5月14日
特表 2024-519462 処理ツールにおける統合型大気プラズマ処理ステーション 2024年 5月14日
特開 2024-63144 プラズマ処理チャンバ構成要素のための表面コーティング 2024年 5月10日
特開 2024-59868 準安定活性ラジカル種を使用する原子層処置プロセス 2024年 5月 1日

197 件中 121-135 件を表示

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2024-81722 2024-521260 2024-73512 2024-73513 2024-73514 2024-73515 2024-521078 2024-521079 2024-69333 2024-69443 2024-69652 2024-519460 2024-519462 2024-63144 2024-59868

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