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株式会社ＳＵＭＣＯ

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　■　2021年特許取得件数ランキング　　　第298位　93件（2020年：第290位　95件）

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株式会社ＳＵＭＣＯの商標一覧

公報番号	発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)	公報発行日
特許 6834831	シリコン単結晶の製造方法	2021年 2月24日
特許 6834836	シリコン単結晶のＯＳＦ評価方法、エピタキシャルウェーハの検査方法、およびシリコン単結晶の製造方法	2021年 2月24日
特許 6834932	貼り合わせウェーハ用の支持基板の製造方法および貼り合わせウェーハの製造方法	2021年 2月24日
特許 6835006	エピタキシャルシリコンウェーハにおける積層欠陥の発生予測方法及びエピタキシャルシリコンウェーハの製造方法	2021年 2月24日
特許 6828674	クリーニング方法、シリコン単結晶の製造方法、および、クリーニング装置	2021年 2月10日
特許 6828811	石英ガラスルツボ及びその製造方法	2021年 2月10日
特許 6825509	ダイヤモンド積層シリコンウェーハの製造方法およびダイヤモンド積層シリコンウェーハ	2021年 2月 3日
特許 6819631	エピタキシャルシリコンウェーハの不純物ゲッタリング能力の評価方法	2021年 1月27日
特許 6822432	ウェーハの片面研磨方法	2021年 1月27日
特許 6822518	研磨パッドの管理方法及び研磨パッドの管理システム	2021年 1月27日
特許 6812931	液面レベル検出装置の調整用治具および調整方法	2021年 1月13日
特許 6812961	エピタキシャル成長装置およびそれを用いた半導体エピタキシャルウェーハの製造方法	2021年 1月13日
特許 6812962	エピタキシャルシリコンウェーハの製造方法	2021年 1月13日
特許 6813096	サセプタ、エピタキシャル成長装置、エピタキシャルシリコンウェーハの製造方法、ならびにエピタキシャルシリコンウェーハ	2021年 1月13日
特許 6806098	半導体ウェーハの評価方法および半導体ウェーハの製造方法	2021年 1月 6日

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6834831 6834836 6834932 6835006 6828674 6828811 6825509 6819631 6822432 6822518 6812931 6812961 6812962 6813096 6806098

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