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株式会社ＳＵＭＣＯ

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　■　2022年特許取得件数ランキング　　　第278位　113件（2021年：第298位　93件）

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株式会社ＳＵＭＣＯの商標一覧

公報番号	発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)	公報発行日
特許 7035748	ワークの両面研磨装置	2022年 3月15日
特許 7035923	インゴットのＶノッチ評価方法、インゴットのＶノッチ加工方法、およびインゴットのＶノッチ評価装置	2022年 3月15日
特許 7035925	エピタキシャルシリコンウェーハの製造方法およびエピタキシャルシリコンウェーハ	2022年 3月15日
特許 7035996	気相成長装置およびエピタキシャルシリコンウェーハの製造方法	2022年 3月15日
特許 7036043	高抵抗材料の抵抗率測定方法	2022年 3月15日
特許 7036116	シリコン単結晶の製造方法	2022年 3月15日
特許 7036217	シリコン単結晶の育成方法	2022年 3月15日
特許 7031491	ワークの両面研磨装置および両面研磨方法	2022年 3月 8日
特許 7031555	シリコン試料の炭素濃度評価方法およびこの方法に使用される評価装置、シリコンウェーハ製造工程の評価方法、シリコンウェーハの製造方法ならびにシリコン単結晶インゴットの製造方法	2022年 3月 8日
特許 7031611	単結晶引上装置のクリーニング装置、クリーニング方法	2022年 3月 8日
特許 7028154	埋込み拡散層付きエピタキシャルシリコンウェーハにおけるシリコンエピタキシャル層の膜厚測定装置および膜厚測定方法、ならびに当該膜厚測定装置または当該膜厚測定方法を用いた埋込み拡散層付きエピタキシャルシリコンウェーハの製造方法	2022年 3月 2日
特許 7024668	ＳＯＩウェーハ及びその製造方法	2022年 2月24日
特許 7024700	石英ガラスルツボ	2022年 2月24日
特許 7021626	原料供給方法およびシリコン単結晶の製造方法	2022年 2月17日
特許 7021632	ウェーハの製造方法およびウェーハ	2022年 2月17日

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7035748 7035923 7035925 7035996 7036043 7036116 7036217 7031491 7031555 7031611 7028154 7024668 7024700 7021626 7021632

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