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株式会社SUMCO

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  2022年 特許取得件数ランキング    第278位 113件 上昇2021年:第298位 93件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 7172844 シリコン単結晶引き上げ用石英ガラスルツボ及びその製造方法 2022年11月16日
特許 7172878 単結晶シリコンの抵抗率測定方法 2022年11月16日
特許 7167864 付着物除去装置及び付着物除去方法 2022年11月 9日
特許 7163764 気相成長装置 2022年11月 1日
特許 7163863 石英ルツボ製造用モールド及びこれを用いた石英ルツボ製造装置 2022年11月 1日
特許 7163901 質量測定装置および質量測定方法 2022年11月 1日
特許 7159861 両頭研削方法 2022年10月25日
特許 7159898 ウェーハ回収装置、研磨システム、および、ウェーハ回収方法 2022年10月25日
特許 7159986 エピタキシャル成長装置およびエピタキシャルウェーハの製造方法 2022年10月25日
特許 7157932 シリカガラスルツボの製造装置および製造方法 2022年10月21日
特許 7151623 単結晶引き上げ装置の評価システム及び評価方法 2022年10月12日
特許 7150250 石英ガラスルツボおよび石英ガラスルツボの製造方法 2022年10月11日
特許 7147551 気相成長装置及びこれに用いられるキャリア 2022年10月 5日
特許 7143805 エピタキシャルシリコンウェーハの不純物ゲッタリング能力の評価方法 2022年 9月29日
特許 7144011 光モジュールの製造方法及び光モジュール 2022年 9月29日

113 件中 16-30 件を表示

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7172844 7172878 7167864 7163764 7163863 7163901 7159861 7159898 7159986 7157932 7151623 7150250 7147551 7143805 7144011

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