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■ 2024年 出願公開件数ランキング 第41位 605件 (2023年:第32位 708件)
■ 2024年 特許取得件数ランキング 第47位 555件 (2023年:第80位 398件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特許 7549672 | 耐アーク性冷却剤導管付き基板支持アセンブリ | 2024年 9月11日 | |
特許 7549031 | 半導体処理チャンバ内のコンダクタンスライナのための方法及び装置 | 2024年 9月10日 | |
特許 7549036 | 有機汚染のない表面加工 | 2024年 9月10日 | |
特許 7549037 | 高周波環境のための冷却基板支持アセンブリ | 2024年 9月10日 | |
特許 7549052 | 研磨液供給アームの洗浄システム | 2024年 9月10日 | |
特許 7547382 | 処理システム用の動的マルチゾーン流量制御 | 2024年 9月 9日 | |
特許 7547483 | 薄膜の異方性堆積のためのリボンビームプラズマ化学気相堆積システム | 2024年 9月 9日 | |
特許 7546697 | 光照射を使用した基板の電気的クランプを強化するためのシステム装置及び方法 | 2024年 9月 6日 | |
特許 7545583 | ゲートオールアラウンドデバイスの形成 | 2024年 9月 4日 | |
特許 7544765 | 裏側の基板接触を減少させる基板移送機構 | 2024年 9月 3日 | |
特許 7544850 | 熱処理チャンバのエッジリング距離を測定する装置、システム、及び方法 | 2024年 9月 3日 | |
特許 7544954 | ロボット関節空間グラフ経路計画および移動実行 | 2024年 9月 3日 | |
特許 7542536 | 基板上にデバイスを形成する方法 | 2024年 8月30日 | |
特許 7542601 | 低放出注入マスク及び基板アセンブリ | 2024年 8月30日 | |
特許 7542634 | 透明基板を処理する方法及び装置 | 2024年 8月30日 |
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7549672 7549031 7549036 7549037 7549052 7547382 7547483 7546697 7545583 7544765 7544850 7544954 7542536 7542601 7542634
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1月17日(金) -
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