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カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー

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  2018年 出願公開件数ランキング    第645位 45件 下降2017年:第501位 77件)

  2018年 特許取得件数ランキング    第367位 75件 上昇2017年:第394位 68件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 6376538 投影露光装置の照明光学ユニットの瞳ファセットミラーの瞳ファセットを照明光学ユニットの視野ファセットミラーの視野ファセットに割り当てる方法 2018年 8月22日
特許 6369906 EUV投影リソグラフィのための照明光学ユニット及びそのような照明光学ユニットを含む光学系 2018年 8月 8日
特許 6359521 マイクロリソグラフィ投影露光装置の光学系 2018年 7月18日
特許 6360051 光学距離測定システムを備えるマイクロリソグラフィー用の投影露光装置 2018年 7月18日
特許 6360177 光学結像装置モジュール及びその構成要素の支持方法 2018年 7月18日
特許 6357505 ファセットミラーデバイス 2018年 7月11日
特許 6351625 EUVミラー及びEUVミラーを備える光学システム 2018年 7月 4日
特許 6352953 光学系の少なくとも1つの素子を作動させる構成体 2018年 7月 4日
特許 6347895 投影リソグラフィのための照明光学ユニット及びそのための中空導波管構成要素 2018年 6月27日
特許 6348478 EUV投影リソグラフィのための照明光学ユニット 2018年 6月27日
特許 6349313 投影露光装置の光学素子を保護するためのブロック素子 2018年 6月27日
特許 6346299 ビーム分配光学デバイス、このタイプのビーム分配光学デバイスを含む照明光学ユニット、このタイプの照明光学ユニットを含む光学系、及びこのタイプの光学系を含む投影照明装置 2018年 6月20日
特許 6342436 EUVフォトマスクの欠陥を解析かつ除去する方法及び装置 2018年 6月13日
特許 6343344 マイクロリソグラフィ投影露光装置の照明系 2018年 6月13日
特許 6336108 振動補償光学系、リソグラフィー装置、及びその製造方法 2018年 6月 6日

78 件中 31-45 件を表示

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6376538 6369906 6359521 6360051 6360177 6357505 6351625 6352953 6347895 6348478 6349313 6346299 6342436 6343344 6336108

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