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カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー

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　■　2018年特許取得件数ランキング　　　第367位　75件（2017年：第394位　68件）

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カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハーの商標一覧

公報番号	発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)	公報発行日
特許 6376538	投影露光装置の照明光学ユニットの瞳ファセットミラーの瞳ファセットを照明光学ユニットの視野ファセットミラーの視野ファセットに割り当てる方法	2018年 8月22日
特許 6369906	ＥＵＶ投影リソグラフィのための照明光学ユニット及びそのような照明光学ユニットを含む光学系	2018年 8月 8日
特許 6359521	マイクロリソグラフィ投影露光装置の光学系	2018年 7月18日
特許 6360051	光学距離測定システムを備えるマイクロリソグラフィー用の投影露光装置	2018年 7月18日
特許 6360177	光学結像装置モジュール及びその構成要素の支持方法	2018年 7月18日
特許 6357505	ファセットミラーデバイス	2018年 7月11日
特許 6351625	ＥＵＶミラー及びＥＵＶミラーを備える光学システム	2018年 7月 4日
特許 6352953	光学系の少なくとも１つの素子を作動させる構成体	2018年 7月 4日
特許 6347895	投影リソグラフィのための照明光学ユニット及びそのための中空導波管構成要素	2018年 6月27日
特許 6348478	ＥＵＶ投影リソグラフィのための照明光学ユニット	2018年 6月27日
特許 6349313	投影露光装置の光学素子を保護するためのブロック素子	2018年 6月27日
特許 6346299	ビーム分配光学デバイス、このタイプのビーム分配光学デバイスを含む照明光学ユニット、このタイプの照明光学ユニットを含む光学系、及びこのタイプの光学系を含む投影照明装置	2018年 6月20日
特許 6342436	ＥＵＶフォトマスクの欠陥を解析かつ除去する方法及び装置	2018年 6月13日
特許 6343344	マイクロリソグラフィ投影露光装置の照明系	2018年 6月13日
特許 6336108	振動補償光学系、リソグラフィー装置、及びその製造方法	2018年 6月 6日

78 件中 31-45 件を表示

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6376538 6369906 6359521 6360051 6360177 6357505 6351625 6352953 6347895 6348478 6349313 6346299 6342436 6343344 6336108

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