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カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー

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  2018年 出願公開件数ランキング    第645位 45件 下降2017年:第501位 77件)

  2018年 特許取得件数ランキング    第367位 75件 上昇2017年:第394位 68件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 6310844 減衰装置 2018年 4月11日
特許 6305690 光モジュールへの力の影響を調整しうる光学装置 2018年 4月 4日
特許 6305969 光学撮像装置および方法 2018年 4月 4日
特許 6306095 変形可能な光学素子を有する光学装置 2018年 4月 4日
特許 6297793 EUV用途向けの少なくとも1つのファセットミラーのファセットの角度位置を測定する光学的方法及び光学測定デバイス 2018年 3月20日
特許 6294835 EUVマイクロリソグラフィ用投影レンズ、フィルム素子及びフィルム素子を備える投影レンズの製造方法 2018年 3月14日
特許 6285965 EUVリソグラフィデバイス用照明システムおよびそのためのファセットミラー 2018年 2月28日
特許 6286369 EUV波長範囲用ミラー、該ミラーの製造方法、及び該ミラーを具えた投影露光装置 2018年 2月28日
特許 6282742 マイクロリソグラフィ投影露光装置及びそのような装置における光学波面変形を補正する方法 2018年 2月21日
特許 6283476 EUVリソグラフィ用の光学アセンブリ 2018年 2月21日
特許 6278528 照明光学ユニット 2018年 2月14日
特許 6279565 投影リソグラフィのための投影露光装置 2018年 2月14日
特許 6280827 EUVマイクロリソグラフィ用の投影露光装置の照明光学系に使用するための視野ファセットミラー 2018年 2月14日
特許 6270166 リソグラフィ投影露光装置の照明視野にわたる照明強度を予め定めるための照明強度補正デバイス 2018年 1月31日
特許 6270740 極端紫外線リソグラフィのための光学装置 2018年 1月31日

78 件中 61-75 件を表示

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6310844 6305690 6305969 6306095 6297793 6294835 6285965 6286369 6282742 6283476 6278528 6279565 6280827 6270166 6270740

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