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カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー

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カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハーの商標一覧

公報番号	発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)	公報発行日
特許 6338685	マイクロリソグラフィ投影露光系の照明系及びそのような照明系を操作する方法	2018年 6月 6日
特許 6339117	波面マニピュレータを有する投影レンズ	2018年 6月 6日
特許 6339658	可変透過フィルタを有する対物系を含むマイクロリソグラフィ装置	2018年 6月 6日
特許 6332758	ＥＵＶ投影リソグラフィのための照明光学ユニット	2018年 5月30日
特許 6333304	投影レンズの少なくとも１つのマニピュレータを制御するための制御デバイス	2018年 5月30日
特許 6335212	リソグラフィ投影対物器械を修正／修理する方法	2018年 5月30日
特許 6328633	ＥＵＶ投影リソグラフィ投影露光装置用の照明系	2018年 5月23日
特許 6326126	放射コレクタ、放射源及びリソグラフィ装置	2018年 5月16日
特許 6322583	マイクロリソグラフィのための投影露光方法及び投影露光装置	2018年 5月 9日
特許 6315343	光学系の少なくとも１つの欠陥を補償する方法	2018年 4月25日
特許 6318140	ＥＵＶレンズの結像品質を測定するための測定システム	2018年 4月25日
特許 6318200	光学素子の温度制御装置	2018年 4月25日
特許 6309535	ＥＵＶリソグラフィー用反射性光学素子及びその製造方法	2018年 4月18日
特許 6313210	光学素子	2018年 4月18日
特許 6309765	光学素子を取り付ける配置構成	2018年 4月11日

78 件中 46-60 件を表示

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6338685 6339117 6339658 6332758 6333304 6335212 6328633 6326126 6322583 6315343 6318140 6318200 6309535 6313210 6309765

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