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カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー

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カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハーの商標一覧

公報番号	発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)	公報発行日
特許 6410741	投影リソグラフィのための照明光学ユニット	2018年10月24日
特許 6412511	厚さを最適化した反射コーティング	2018年10月24日
特許 6407193	投影露光方法、投影露光システム、及び投影対物系	2018年10月17日
特許 6407296	マイクロリソグラフィ投影露光系の照明系及びそのような照明系を作動させる方法	2018年10月17日
特許 6401279	球面−非点収差光学面を測定する方法	2018年10月10日
特許 6399889	反射光学素子	2018年10月 3日
特許 6400003	リソグラフィー装置用ミラー構造体の製造方法	2018年10月 3日
特許 6400183	加熱放射に影響を及ぼすコーティングを有する光学素子及び光学装置	2018年10月 3日
特許 6396359	マイクロリソグラフィ投影露光装置の素子を作動させる機構	2018年 9月26日
特許 6397008	リソグラフィ装置、リソグラフィ装置で使用するための位置決めシステム、および方法	2018年 9月26日
特許 6388897	少なくとも１つのマニピュレータを含む投影露光装置	2018年 9月12日
特許 6389860	光学系の少なくとも１つの光学素子を作動させる機構	2018年 9月12日
特許 6389896	多層ミラー	2018年 9月12日
特許 6381632	多層コーティングを備えた光学素子及び当該光学素子を備えた光学装置	2018年 8月29日
特許 6382856	ＥＵＶリソグラフィー用の光学素子及び光学系、及びこの光学系を処理する方法	2018年 8月29日

78 件中 16-30 件を表示

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6410741 6412511 6407193 6407296 6401279 6399889 6400003 6400183 6396359 6397008 6388897 6389860 6389896 6381632 6382856

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