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エーエスエムエル ネザーランズ ビー.ブイ.

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  2024年 出願公開件数ランキング    第220位 162件 上昇2023年:第242位 151件)

  2024年 特許取得件数ランキング    第257位 124件 下降2023年:第238位 146件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 7519455 信号電子検出のためのシステム及び方法 2024年 7月19日
特許 7519465 高さ測定方法及び高さ測定システム 2024年 7月19日
特許 7518238 サンプリングスキームを決定する方法、半導体基板測定装置、リソグラフィ装置 2024年 7月17日
特許 7516366 電磁複合レンズ及びそのようなレンズを備えた荷電粒子光学システム 2024年 7月16日
特許 7516370 メンブレンクリーニング装置 2024年 7月16日
特許 7515524 基板形状測定デバイス 2024年 7月12日
特許 7515626 収差影響システム、モデル、及び製造プロセス 2024年 7月12日
特許 7515635 荷電粒子マルチビーム評価ツールで使用される検出器基板 2024年 7月12日
特許 7514338 広帯域放射を発生させるための方法並びに関連する広帯域源及びメトロロジデバイス 2024年 7月10日
特許 7512403 荷電粒子システムにおける高スループット欠陥検査のためのシステム及び方法 2024年 7月 8日
特許 7511002 流体ハンドリングシステム及びリソグラフィ装置 2024年 7月 4日
特許 7511033 メトロロジ方法及び装置並びにコンピュータプログラム 2024年 7月 4日
特許 7509969 マスクアセンブリ 2024年 7月 2日
特許 7507763 サンプルをスキャンするための荷電粒子ビームシステム 2024年 6月28日
特許 7507815 荷電粒子マルチビームレットリソグラフィーシステムを使用し、一意的チップを製作するための方法及びシステム 2024年 6月28日

128 件中 46-60 件を表示

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7519455 7519465 7518238 7516366 7516370 7515524 7515626 7515635 7514338 7512403 7511002 7511033 7509969 7507763 7507815

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