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エーエスエムエル ネザーランズ ビー.ブイ.

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  2024年 出願公開件数ランキング    第220位 162件 上昇2023年:第242位 151件)

  2024年 特許取得件数ランキング    第257位 124件 下降2023年:第238位 146件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 7568763 極端紫外光源におけるターゲット軌道計測 2024年10月16日
特許 7566950 アライメント方法及び装置 2024年10月15日
特許 7566007 リソグラフィ装置用のペリクル膜 2024年10月11日
特許 7564162 ペイロードを支持する防振装置 2024年10月 8日
特許 7557003 リソグラフィ装置で用いる基板ホルダ及びデバイス製造方法 2024年 9月26日
特許 7555912 検査装置 2024年 9月25日
特許 7555390 放射源 2024年 9月24日
特許 7550214 マイクロミラーアレイ 2024年 9月12日
特許 7547352 レチクルアセンブリのアセンブリのための装置 2024年 9月 9日
特許 7545386 光学変調器の制御 2024年 9月 4日
特許 7543360 極紫外光源の光パルス発生 2024年 9月 2日
特許 7543425 アパーチャアセンブリ、ビームマニピュレータユニット、荷電粒子ビームを操作する方法、及び荷電粒子投影装置 2024年 9月 2日
特許 7542110 プロセスに対する補正の決定 2024年 8月29日
特許 7536784 極端紫外光源の保護システム 2024年 8月20日
特許 7536840 極端紫外線光源のための供給システム 2024年 8月20日

128 件中 16-30 件を表示

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7568763 7566950 7566007 7564162 7557003 7555912 7555390 7550214 7547352 7545386 7543360 7543425 7542110 7536784 7536840

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