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東京エレクトロン株式会社

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東京エレクトロン株式会社の商標一覧

公報番号	発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)	公報発行日
特許 5952059	基板処理装置および基板保持方法	2016年 7月13日
特許 5952645	ウエハ検査用インターフェース及びウエハ検査装置	2016年 7月13日
特許 5953057	プラズマ処理方法及びプラズマ処理装置	2016年 7月13日
特許 5947023	温度制御装置、プラズマ処理装置、処理装置及び温度制御方法	2016年 7月 6日
特許 5947138	成膜装置	2016年 7月 6日
特許 5947710	シード層の形成方法、シリコン膜の成膜方法および成膜装置	2016年 7月 6日
特許 5947975	基板処理装置及び基板処理装置用連結部材	2016年 7月 6日
特許 5948026	半導体製造装置及び処理方法	2016年 7月 6日
特許 5949586	原料ガス供給装置、成膜装置、原料の供給方法及び記憶媒体	2016年 7月 6日
特許 5943345	ＺｎＯ膜の製造装置及び製造方法	2016年 7月 5日
特許 5944484	リソグラフィ適用において感放射線材料のラインを幅狭化する方法	2016年 7月 5日
特許 5944883	粒子逆流防止部材及び基板処理装置	2016年 7月 5日
特許 5945178	ガスクラスター照射機構およびそれを用いた基板処理装置、ならびにガスクラスター照射方法	2016年 7月 5日
特許 5945187	基板処理装置及び基板処理方法	2016年 7月 5日
特許 5940342	基板搬送装置、基板処理システムおよび基板搬送方法、ならびに記憶媒体	2016年 6月29日

572 件中 316-330 件を表示

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5952059 5952645 5953057 5947023 5947138 5947710 5947975 5948026 5949586 5943345 5944484 5944883 5945178 5945187 5940342

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