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東京エレクトロン株式会社
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■ 2021年 出願公開件数ランキング 第33位 878件
（
2020年：第43位 773件）
■ 2021年 特許取得件数ランキング 第45位 515件
（2020年：第54位 436件）
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東京エレクトロン株式会社の商標一覧| 公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
|---|---|---|---|
| 特許 6971365 | 基板処理装置および基板処理方法 | 2021年11月24日 | |
| 特許 6971699 | 基板処理方法、記憶媒体および基板処理装置 | 2021年11月24日 | |
| 特許 6971756 | 基板液処理装置 | 2021年11月24日 | |
| 特許 6971823 | シリコン含有膜のエッチング方法、コンピュータ記憶媒体、及びシリコン含有膜のエッチング装置 | 2021年11月24日 | |
| 特許 6971887 | 成膜方法及び成膜装置 | 2021年11月24日 | |
| 特許 6972110 | 基板処理装置 | 2021年11月24日 | |
| 特許 6972270 | 照明モジュール及び基板撮像装置 | 2021年11月24日 | |
| 特許 6972852 | 真空搬送モジュール及び基板処理装置 | 2021年11月24日 | |
| 特許 6972939 | 基板処理装置、半導体装置の製造方法、及び記憶媒体 | 2021年11月24日 | |
| 特許 6967883 | 機能液吐出装置及び機能液吐出位置補正方法 | 2021年11月17日 | |
| 特許 6967944 | プラズマ処理装置 | 2021年11月17日 | |
| 特許 6967951 | 基板処理方法および基板処理装置 | 2021年11月17日 | |
| 特許 6967954 | 排気装置、処理装置及び排気方法 | 2021年11月17日 | |
| 特許 6967980 | 接合方法、および接合装置 | 2021年11月17日 | |
| 特許 6968011 | 成膜方法及び成膜装置 | 2021年11月17日 |
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6971365 6971699 6971756 6971823 6971887 6972110 6972270 6972852 6972939 6967883 6967944 6967951 6967954 6967980 6968011
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