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東京エレクトロン株式会社

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  2023年 出願公開件数ランキング    第31位 722件 下降2022年:第25位 842件)

  2023年 特許取得件数ランキング    第32位 762件 上昇2022年:第38位 690件)

(ランキング更新日:2025年6月10日)筆頭出願人である出願のみカウントしています

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特開 2023-151607 ゲートバルブ装置及び半導体製造装置 2023年10月16日
特開 2023-151608 基板処理装置 2023年10月16日
特開 2023-151985 エッチング方法及びプラズマ処理システム 2023年10月16日
特開 2023-148394 検査装置 2023年10月13日
特開 2023-148529 検査装置、および検査方法 2023年10月13日
特開 2023-148530 検査装置、および検査方法 2023年10月13日
特開 2023-148531 検査装置、および検査方法 2023年10月13日
特開 2023-148767 液体を貯留する装置、基板を処理するシステム、及び液位を特定する方法 2023年10月13日
特開 2023-148823 基板処理システム、制御装置および基板搬送処理方法 2023年10月13日
特開 2023-149036 プラズマ処理装置 2023年10月13日
特開 2023-145905 基板処理装置、および基板処理方法 2023年10月12日
特開 2023-146703 埋込方法及び基板処理システム 2023年10月12日
特開 2023-146739 基板を処理する装置、及び基板を処理する方法 2023年10月12日
特開 2023-146756 基板処理方法、及び基板処理装置 2023年10月12日
特開 2023-146788 液処理装置、液処理方法及び記憶媒体 2023年10月12日

725 件中 121-135 件を表示

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2023-151607 2023-151608 2023-151985 2023-148394 2023-148529 2023-148530 2023-148531 2023-148767 2023-148823 2023-149036 2023-145905 2023-146703 2023-146739 2023-146756 2023-146788

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