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ラム　リサーチ　コーポレーション

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ラム　リサーチ　コーポレーションの商標一覧

公報番号	発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)	公報発行日
特許 7433302	ＬＯＷ－ＫＡＬＤギャップフィル方法および材料	2024年 2月19日
特許 7431255	マルチレベルＲＦ電力パルシングのために高周波（ＲＦ）信号発生器の自動周波数調整を行う方法およびシステム	2024年 2月14日
特許 7430169	プラズマチャンバ内温度のリアルタイム制御	2024年 2月 9日
特許 7426346	高アスペクト比構造の効率的な洗浄およびエッチング	2024年 2月 1日
特許 7423723	原子層エッチングにおける方向性の制御	2024年 1月29日
特許 7422077	高電力無線周波数の螺旋コイルフィルタ	2024年 1月25日
特許 7421482	パルス幅変調されたドーズ制御のためのシステムおよび方法	2024年 1月24日
特許 7421487	無整合プラズマ源に対する周波数同調	2024年 1月24日
特許 7420754	金属酸化物膜を除去するための温度制御システムおよびその方法	2024年 1月23日
特許 7419326	フォトレジスト接着および線量低減のための下層	2024年 1月22日
特許 7419342	トリムプロセスに対する限界寸法の変化の改善をもたらすチャンバおよびプロセスの補償	2024年 1月22日
特許 7419378	基板処理システムのガス供給システムにおけるハードウェア構成要素のためのソフトウェアエミュレータ	2024年 1月22日
特許 7419483	一体型サーマルチョークによる高温ＲＦ接続	2024年 1月22日
特許 7414891	半導体基板を処理するための装置および方法	2024年 1月16日
特許 7411641	粒子測定方法および粒子測定装置	2024年 1月11日

154 件中 136-150 件を表示

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7433302 7431255 7430169 7426346 7423723 7422077 7421482 7421487 7420754 7419326 7419342 7419378 7419483 7414891 7411641

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